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“压力计”招标采购信息

艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。CNY
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